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SEM扫描电镜能谱(EDS)分析中必须要明白的几个重要问题
EDS分析的定量精度依赖于标准和误差规定,对于平坦、无水的试样,标准允许总量误差小于±3%。但对于不平坦试样,可能需要进行归一化处理或半定量分析。TEM的定量分析更为复杂,因为薄样品可能导致厚度难以准确测量,影响定量结果。最后,关于EDS谱峰,谱线多并不表示元素含量高,而是电子壳层结构的反映。
EDS谱峰中可能看不到前面的谱峰,这可能是由于样品位置周围存在大颗粒或厚介质,导致轻元素X射线吸收严重,影响分析结果。此时,可以尝试更换样品位置或比较其他区域的分析结果,以判断原结果的可靠性。
EDS为能谱或能谱仪的正规用法,代表能量色散。EDX代表能谱学,尽管一些文章仍使用其他说法,但EDS应为文章中的正规用法。TEM与SEM的能谱误差:用于TEM的能谱分辨率通常低于SEM几个eV,因此TEM的能谱误差并不一定比SEM小。
扫描电镜之EDX能谱分析的介绍
1、扫描电镜(SEM)的核心功能在于通过电子束获取样品的微纳尺度信息,主要依靠背散射电子(BSE)和二次电子(SE)生成高分辨率图像。然而,SEM中还隐藏着能谱分析(EDX)这一强大工具,它揭示了样品的更多细节。当电子与样品表面相互作用时,产生的信号涵盖了形貌、电子结构和化学成分等多元信息。
2、EDX的定性分析依赖于元素特征X射线的频率,而定量分析则涉及净强度处理和基体修正,以确保结果的准确性。 实战应用与注意事项 点分析可以揭示微结构的成分,选取合适的区域并关注干扰因素至关重要。面分析则直观呈现元素分布,需要结合形貌图、谱图和扫描信息进行解读。
3、扫描电镜的EDS能谱图是一种用于元素成分和含量分析的强大工具,它通过X射线能谱分析技术,结合高灵敏度的硅漂移探测器,实现非破坏性地识别样品中元素的类型和浓度。EDS,全称为能量分散谱仪,是SEM的标准配置,其原理是利用X射线检测样品,产生包含元素特征峰的光谱。
4、莫斯莱(H.G.Moseley) 发现,荧光X射线的波长λ与元素的原子序数Z有关,其数学关系如下: λ=K(Z-s)-2 这就是莫斯莱定律,式中K和S是常数,因此,只要测出荧光X射线的波长,就可以知道元素的种类,这就是荧光X射线定性分析的基础。
透射电镜edx能谱数据导出来后怎么分析
测试完成后,能谱软件会显示出元素种类及其对应的峰形。若出现未知元素,需要根据所测物质的已知元素组成来识别。测试方式分为面扫和点扫,面扫代表SEM上显示区域中各元素的含量分布,点扫则对应于该点及其附近元素情况,因探针会轻微飘动。
最后,EDX会给出以At%和wt%为单位的各元素数据,At%表示原子百分数,wt%表示质量百分数。根据wt%除以各种元素的相对原子质量,可以计算出物质的结构式。但是,EDX只是一个半定量的测试方法,结果还不够精确。想要获得更加精确的数值,可以用ICP(含金属的物质)。
EDX在电镜分析中的重要性 作为电镜的重要附件,X射线能谱(EDX)能在纳米尺度上解析样品的结构和成分。在SEM(扫描电镜)和TEM(透射电镜)的配合下,EDX能够深入分析从B到U的各个元素。 X射线的独特性质 当高能电子与样品相撞时,会产生二次电子、背散射电子以及特征X射线。
SEM干货知识|扫描电子显微镜SEM与EDX能谱分析
1、扫描电子显微镜(SEMs)在材料表征中扮演着关键角色,特别在研究微小尺寸材料时。它们利用电子成像,分辨率高于光学显微镜。扫描电子显微镜通过电子束扫描样品表面,产生图像。镜筒必须处于高真空环境,以保护电子枪和提高图像质量。SEM镜筒顶部的电子枪生成电子,当电子热能超过源材料功函数时释放出来,加速至阳极。
2、扫描电子显微镜中的背散射电子和二次电子成像提供了不同的信息。背散射电子来自样品较深区域,其图像显示出原子序数的敏感性;原子序数越高,图像区域越亮。二次电子来自表面区域,能反映更详细的表面信息。
3、电镜能谱(EDS)与扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)的能谱分析有所差异。虽然早期EDS有多种缩写,如EDS、EDX和EDAX,但现今共识是EDS代表能谱或能谱仪,而EDX则用于指能谱学。
4、扫描电镜(SEM)的核心功能在于通过电子束获取样品的微纳尺度信息,主要依靠背散射电子(BSE)和二次电子(SE)生成高分辨率图像。然而,SEM中还隐藏着能谱分析(EDX)这一强大工具,它揭示了样品的更多细节。当电子与样品表面相互作用时,产生的信号涵盖了形貌、电子结构和化学成分等多元信息。
5、能谱分析,即EDS(Energy Dispersive Spectroscopy),是材料分析领域中常用的一种技术。EDS以其操作简便、分析速度快、结果直观、价格相对低廉等优点,成为电镜的标准配置。本文将探讨有关EDS的几个常见问题,旨在为读者提供参考。关于EDS的缩写,过去存在EDS、EDX、EDAX等不同的说法。
测试表征系列|手把手教学X射线能谱(EDX),全篇重点,速收藏
EDX在电镜分析中的重要性 作为电镜的重要附件,X射线能谱(EDX)能在纳米尺度上解析样品的结构和成分。在SEM(扫描电镜)和TEM(透射电镜)的配合下,EDX能够深入分析从B到U的各个元素。 X射线的独特性质 当高能电子与样品相撞时,会产生二次电子、背散射电子以及特征X射线。
能谱仪中的探测器被置于一个特定角度,与样品非常接近,能测量到X射线的光子能量。探测器与样品之间的立体角越高,X射线检测概率越高,因此越能获得最佳结果。常用的探头为Si(Li)探测器,按照探头的位置以及数量配置,能谱仪一般可以分为多探头、平插式和斜插式类型。
EDX分析基于电子束轰击原子内层,激发出基态原子的内壳电子。外层电子填充空穴时释放出特性X射线,其能量分布反映特定元素和跃迁特征。硅漂移探测器收集X射线,并通过软件测量和解释,实现元素的定性和定量分析。EDX分析不仅用于识别元素类型,还能测量每种元素的浓度百分比,且几乎无需样品制备,无损检测。
XRD、IR、SEM、EDS及紫外可见吸收的测试原理及具体分析步骤(材料测试...
1、BET法主要用于测量材料的比表面积,通过计算氮气吸附-脱附等温线,可以得到材料的比表面积信息。BET法在催化、吸附和纳米材料等领域有着广泛的应用,对于研究材料的物理性质和应用潜力至关重要。XRD技术主要用于测试材料的物性、晶型等信息。
2、XRD:主要是测试材料的物性,晶型的。高级的XRD还可以测试材料不同晶型的组分。
3、扫描电子显微镜(SEM)能够放大样本至约20万倍,利用二次电子成像原理来观察物质的微观形态。 能量色散X射线光谱仪(EDS)通过检测不同元素特有的电子能量差异来鉴定元素。它通常与SEM配合使用,即在SEM中安装EDS附件,以便在观察样本形态的同时,对特定区域进行元素分析。
4、SEM的应用 扫描电子显微镜主要用于对材料形貌/尺寸进行观察并分析,对带有镀层的材料膜层分析、对材料微区进行EDS元素分析、细胞观察,同时在对材料进行失效分析时进行元素测定、金相分析等。广泛用于材料、化学、生物、医学、地质等领域。
5、测试功能:SEM扫描电镜不仅可以进行形貌分析,还可以进行点扫描能量分散光谱、线扫描EDS、面扫描mapping、背散射电子等多种测试。这些功能使得SEM在材料分析方面具有极高的灵活性和适用性。样品制备:为了进行SEM测试,样品需要进行适当的制备,如喷金喷碳、低温脆氮处理、截面制样以及生物制样等。
6、XRD)(XRD)、扫描电子显微分析(SEM)、电子能谱(EDS)、红外光谱(FTIR)四种测试手段。并对每种测试手段在不同改性技术上的表征应用进行了分析,对工厂和企业在对改型钛白粉的鉴别上具有较强的理论指导和实用意义,已在江苏部分钛白粉生产企业中进行了推广应用。
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