SEM设备原理,sem原理及基本操作

SEM设备原理,sem原理及基本操作

SEM的基本原理及应用 1、SEM的核心构造是电子束的精密控制,其中包括电子枪、真空室和一系列电磁透镜。电子枪产生电子,经过阳极加速后,通过真空环境中的聚光镜和物镜系统,电子束被聚焦到样品上。扫描线圈...