sem镜筒中各部件的作用,镜筒的工作原理

sem镜筒中各部件的作用,镜筒的工作原理

扫描电子显微镜的原理结构 1、扫描电子显微镜(SEM)的原理与结构组成,基于电子与物质的相互作用。SEM利用聚焦的高能电子束扫描样品表面,激发出各种物理信息,如二次电子、俄歇电子、特征x射线和背散射电...