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浅谈等离子热喷涂①-Y2O3氧化钇涂层 相比之下，氧化钇是当前应用最广泛的耐等离子冲蚀材料。在芯片刻蚀机腔体内壁表面喷涂一层0.15mm厚的氧化钇涂层，可以有效避免腔体基材对硅片刻蚀的污染，同时延长刻...

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