sem/edx，semedx是什么意思

电镜能谱(EDS),扫描电镜与透射电镜能谱对比-科学指南针

电镜能谱(EDS)与扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)的能谱分析有所差异。虽然早期EDS有多种缩写，如EDS、EDX和EDAX，但现今共识是EDS代表能谱或能谱仪，而EDX则用于指能谱学。

能谱仪(EDS，Energy Dispersive Spectrometer)是用来对材料微区成分元素种类与含量分析，配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。其原理是：当X射线光子进入检测器后，在Si（Li）晶体内激发出一定数目的电子空穴对。

样品制备很简单。目前，所有的扫描电镜设备都配备了x射线能谱仪，可以同时观察微观组织和形貌，分析微区成分。因此，它是当今非常有用的科学研究工具。2．透射电子显微镜在材料科学和生物学中有着广泛的应用。由于电子容易散射或被物体吸收，穿透率低，样品的密度和厚度会影响最终成像质量。

扫描电镜提供的图像主要聚焦于样品表面的微观形貌和化学成分，分辨率可达到纳米量级，通过二次电子图像观察表面起伏、孔洞、裂纹等特征，背散射电子图像提供与化学成分相关的信息，用于相分析，而X射线能谱则进行定性和定量的成分分析。

扫描电镜（SEM）和透射电镜（TEM）在功能上有显著差异，主要体现在对样品的观察和分析上。扫描电镜（SEM）的核心功能在于提供高分辨率的形貌图像，通过二次电子探测器（SEI）观察表面几何形态，尺寸以及元素分布。

SEM扫描电镜能谱(EDS)分析中必须要明白的几个重要问题

1、EDS分析的定量精度依赖于标准和误差规定，对于平坦、无水的试样，标准允许总量误差小于±3%。但对于不平坦试样，可能需要进行归一化处理或半定量分析。TEM的定量分析更为复杂，因为薄样品可能导致厚度难以准确测量，影响定量结果。最后，关于EDS谱峰，谱线多并不表示元素含量高，而是电子壳层结构的反映。

2、了解EDS原理后，可知谱线数量不代表元素含量。EDS基于电子壳层被激发后，外层电子跃迁至空位，释放特征X射线，不同壳层之间的能量差产生不同谱线。谱线数量多仅表明外层电子占有壳层多，定量分析时根据元素选择不同线系的谱峰强度与响应值计算，与元素含量无关。

3、EDS谱峰中可能看不到前面的谱峰，这可能是由于样品位置周围存在大颗粒或厚介质，导致轻元素X射线吸收严重，影响分析结果。此时，可以尝试更换样品位置或比较其他区域的分析结果，以判断原结果的可靠性。

4、在EDS mapping中，噪点可能源于低含量元素、穿透性影响和样品稳定性问题。轻元素的SEM-EDS测试不准确，因能量低易被基底吸收。形貌点扫描与XRF测试结果差异源于采样深度不同。超声分散时间取决于样品特性，需要经验或具体要求来确定。

SEM干货知识|扫描电子显微镜SEM与EDX能谱分析

1、扫描电子显微镜(SEMs)在材料表征中扮演着关键角色，特别在研究微小尺寸材料时。它们利用电子成像，分辨率高于光学显微镜。扫描电子显微镜通过电子束扫描样品表面，产生图像。镜筒必须处于高真空环境，以保护电子枪和提高图像质量。SEM镜筒顶部的电子枪生成电子，当电子热能超过源材料功函数时释放出来，加速至阳极。

2、扫描电子显微镜中的背散射电子和二次电子成像提供了不同的信息。背散射电子来自样品较深区域，其图像显示出原子序数的敏感性；原子序数越高，图像区域越亮。二次电子来自表面区域，能反映更详细的表面信息。

3、SEM与EDS的结合应用广泛，如检测表面镀层的裂纹、分析不同材料断口的微观结构和成分。执行分析时，依据的标准包括JY/T 0584-2020《扫描电子显微镜分析方法通则》、GB/T 17359-2012《微束分析 能谱法定量分析》和GB/T 16594-2008《微米级长度的扫描电镜测量方法通则》等，确保了分析结果的准确性和规范性。

扫描电镜SEM/EDX测试的井深是多少?

1、应该是景深吧``焦深计算公式 L= ±[(r/M)-d]/2α 其中：L： 焦深 r： 显像管最小分辨距离 M：放大倍数 d：入射电子束直径 2α：物镜孔径角。从上面的式子可以看出影响焦深的因素，其中隐含了工作距离w。物镜孔径角与工作距离和入射电子束直径有关。

2、二次电子扫描象的分辨本领最高，约等于入射电子束直径，一般为6-10nm深，主要用于测试表面形貌；背散射电子为50-200 nm深，可以测表面形貌，也可以得到表面成分衬度；吸收电子和X射线为100-1000nm深，这些信号主要用来得到表面元素。

3、起初能谱缩写多样，如EDS、EDX、EDAX等，大家心照不宣。EDS代表能量色散，EDX代表能谱学，二者翻译不同。约2004年起，相关协会规定EDS为能谱或能谱仪，EDX为能谱学。EDS应为文章中的正规用法，尽管一些文章仍使用其他说法，这有其约定俗成的意味。

4、扫描电镜具有更高分辨率，例如蔡司以扫描电镜为基础，推出 FIB-SEM 产品，可以实现高分辨率(3nm)的 3D 成像。如此，利用 CT→X 射线显微镜→ FIB-SEM，选定区域并逐级放大，就可以得到更为全面和精确的信息，同时可以实现快速定位，使检测更为高效。

x射线荧光光谱法和sem-edx的区别是什么

1、XRF激发源是一次X射线，SEM的激发源是电子束。

2、区别如下：EDX是荧光分析，EDS是能谱分析，EDXRF是能量色散型荧光X射线。EDS能量色散溥仪，按能量展谱，主要器件为Li-Si半导体探测器.主要利用X光量子的能量不同来进行元素分析。

3、综上所述，EDS是一种科学分析技术，用于材料成分分析，而EDX是一个教育平台，用于提供在线学习资源。这两个术语代表不同的领域和应用。

4、X射线荧光与衍射分析方法无需样品溶解，非破坏性，适合固体样品。表面与微区成分分析则包括X射线光电子能谱、俄歇电子能谱、二次离子质谱和电子探针分析等。光谱分析包括原子吸收光谱AAS、电感耦合等离子体原子发射光谱ICP-OES、X射线荧光光谱XFS和X射线衍射光谱分析法XRD。

5、检测器收集背散射电子和二次电子，形成不同信号图像。扫描电子显微镜中的背散射电子和二次电子成像提供了不同的信息。背散射电子来自样品较深区域，其图像显示出原子序数的敏感性；原子序数越高，图像区域越亮。二次电子来自表面区域，能反映更详细的表面信息。

6、EDX是借助于分析试样发出的元素特征X射线波长和强度实现的，根据不同元素特征X射线波长的不同来测定试样所含的元素。通过对比不同元素谱线的强度可以测定试样中元素的含量。通常EDX结合电子显微镜（SEM）使用，可以对样品进行微区成分分析。

扫描电镜之EDX能谱分析的介绍

扫描电镜（SEM）的核心功能在于通过电子束获取样品的微纳尺度信息，主要依靠背散射电子（BSE）和二次电子（SE）生成高分辨率图像。然而，SEM中还隐藏着能谱分析（EDX）这一强大工具，它揭示了样品的更多细节。当电子与样品表面相互作用时，产生的信号涵盖了形貌、电子结构和化学成分等多元信息。

扫描电镜的EDS能谱图是一种用于元素成分和含量分析的强大工具，它通过X射线能谱分析技术，结合高灵敏度的硅漂移探测器，实现非破坏性地识别样品中元素的类型和浓度。EDS，全称为能量分散谱仪，是SEM的标准配置，其原理是利用X射线检测样品，产生包含元素特征峰的光谱。

莫斯莱(H.G.Moseley) 发现，荧光X射线的波长λ与元素的原子序数Z有关，其数学关系如下： λ=K(Z-s)-2 　这就是莫斯莱定律，式中K和S是常数，因此，只要测出荧光X射线的波长，就可以知道元素的种类，这就是荧光X射线定性分析的基础。

EDS能谱仪，是一种分析物质元素的仪器，常与扫描电镜或者透射电镜联用，在真空室下用电子束轰击样品表面，激发物质发射出特征x射线，根据特征x射线的波长，定性与半定量分析元素周期表中B-U的元素，EDS可提供样品表面之微区定性或半定量之成份元素分析，以及特定区域之point、line scan、mapping分析。

此外，荧光X射线的强度与相应元素的含量有一定的关系，据此，可以进行元素定量分析。X射线的产生利用X射线管，施加高电压以加速电子，使其冲撞金属阳极（对阴极）从而产生X射线。

X射线能谱（Energy Dispersive X-ray spectroscopy，EDX）作为元素分析方法之一，常用于材料微区成分元素种类与含量分析，可以分析元素周期表中从硼到铀（B-U）的所有元素信息。一般与扫描电子显微镜和透射电子显微镜配合使用。