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【知识】扫描电镜(SEM)知识大全

扫描电镜(SEM)是什么？ 扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope，SEM)于1965年左右发明，其利用二次电子、背散射电子及特征X射线等信号来观察、分析样品表面的形态、特征，是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察方法。

扫描电子显微镜（SEM）于1965年左右发明，通过二次电子、背散射电子及特征X射线等信号来观察、分析样品表面的形态、特征，是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察方法。SEM可配备多种附件，如X射线能谱仪、电子背散射衍射等，对样品进行原位、动态分析。

放大率：在SEM中，图像的放大率不是通过调整透镜来实现的，而是通过控制扫描区域的大小来控制的。想要更高的放大率，只需扫描更小的面积。放大率是屏幕/照片面积与扫描面积的比值。 场深：SEM能够聚焦于焦平面上下的一小层区域内，这一层的厚度被称为场深，通常为几纳米。

场发射扫描电镜（SEM），尤其是其低电压高分辨率模式（EBSD），是一种强大的表面分析工具。它通过电子束扫描样品，利用二次电子、背散射电子和特征X射线信号来揭示样品表面的结构和组成。电子束作用于样品时，产生的背散射电子会形成衍射图案，即EBSD，用于晶格分析。

SEM-EDS是一种组合检测设备，结合了扫描式电子显微镜(Scanning Electron Microscopy)和能量散射光谱仪(Energy Dispersive Spectrometer)。扫描电子显微镜（SEM）能够利用高能电子束扫描样品表面，通过电子与样品原子相互作用所产生的各种信号，揭示样品的表面形貌和结构信息。

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1、扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope，SEM)于1965年左右发明，其利用二次电子、背散射电子及特征X射线等信号来观察、分析样品表面的形态、特征，是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察方法。

2、电子显微镜（扫描电镜，SEM）的工作原理基于电子束与样品相互作用产生的一系列信号。当电子束扫描样品表面时，会激发二次电子、背散射电子以及X射线等，这些信号随后被收集并转换成数字信号，从而获得样品的形貌和成分信息。

3、电镜的工作原理涉及电子枪发射电子束，这些电子束撞击样品表面，从而产生二次电子、背散射电子和X射线等信号。这些信号被收集并转化为数字信号，进而获得形态或成分信息。

4、电子束产生与聚焦 - 电子枪发射电子：扫描电镜中的电子枪通过热发射或场发射的方式产生电子束。在热发射电子枪中，通常使用钨丝或六硼化镧等材料作为阴极，通过加热使阴极中的电子获得足够的能量逸出表面，形成电子束。场发射电子枪则是利用强电场使阴极表面的电子隧穿而出，产生电子束。

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制样：对于简单样品，可能不需要特别的制样步骤，直接进行放样即可，这一过程可能需要几分钟到十几分钟。对于复杂样品，可能需要进行断开、抛光、腐蚀等处理，所需时间无法确定，有的可能需要半天以上。 放样：在完成制样后，需要将样品放置在电镜中进行测试。

扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope，SEM)于1965年左右发明，其利用二次电子、背散射电子及特征X射线等信号来观察、分析样品表面的形态、特征，是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察方法。

扫描电镜，或称扫描电子显微镜，自1965年左右问世以来，已广泛应用于多个学科领域。它通过二次电子、背散射电子及特征X射线等信号，提供对样品表面形态和特征的观察与分析。作为一种介于透射电镜和光学显微镜之间的技术，SEM允许我们观察到微观世界的表面细节。

扫描电子显微镜(SEM)一般10～20万元，能观察到0.001微米，看物体表面的形貌。

如何获得清晰的扫描电镜(SEM)图像

样品制备：确保观察位置正确，若样品非导电则需镀金。环境控制：电镜应在无振动和磁场干扰的环境中。设备维护：电子枪应在合理使用期内。拍摄技巧：找到拍摄点，选择合适距离和探头，对中调焦，反复调整至最佳清晰度。

样品制备：确保样品的观察位置准确无误，如果样品不导电，可能需要进行镀金处理。环境要求：电镜应放置在无振动和磁场干扰的环境中。设备维护：电子枪应在合理的工作时间内使用。拍摄技巧：确定拍摄点，调整拍摄距离和探头，对中、调像散、聚焦，直至达到最佳图像质量。

关键是聚焦，高倍聚焦，低倍成像。再就是调节对比度亮度得到一幅清晰的图像。 如果比较了解电镜的话，还要调节像散，对中等等之类的。