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TEM 和透射电镜 SEM 干货丨扫描电镜 (tem透射电镜原理)

SEO技术 2024-10-11 38
TEM

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干货丨扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)——相似点和不同点!

电子显微镜作为提醒资料实质的弱小工具,其多配置性和空中间分辨率在泛滥运行畛域中极具价值。

关键的两种电子显微镜类型,扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM),各有其共同的个性与实用场景。

相反点在于,SEM和TEM都应用电子失掉样品的图像,且都依赖于高真空环境。

但是,它们的差异清楚:SEM经过线圈扫描样品并搜集散射电子,并重于外表结构与组成消息,最高分辨率可达0.5nm;而TEM则应用透射电子观察样品外部,如晶体结构和应力形态,空间分辨率已优化至50pm以下,实用于深化结构剖析。

选用哪种显微镜取决于钻研需求:SEM适宜外表毛糙度检测和污染物剖析,而TEM则用于提醒晶体结构和外部缺点。

SEM提供3D外表图像,而TEM的图像为2D投影,对样品制备要求较高,理论须要薄且平整的样品,而SEM则对样品制备要求相对较低。

在操作上,SEM经常使用较高的减速电压,最高加大倍数受限于1-2百万倍,景深较大;而TEM的电压范围更广,可达5000万倍以上,但视线范围较小,景深较浅。

此外,SEM应用背散射或二次电子成像,而TEM则是间接显示在荧光屏或CCD相机上。

总结而言,SEM和TEM的选用取决于详细的钻研需求,尤其是分辨率、外部结构可视化和样品制备的复杂性。

关于须要更深化剖析的用户,透射电镜(TEM)是首选,而扫描电镜(SEM)则实用于外表消息的极速评价。

思考到老本和操作难度,两者在实践运行中各有其优劣。

sem扫描电镜图怎样看,图上各参数都代表什么意思

SEM扫描电镜图检查指南及参数解析

答案摘要:

SEM扫描电镜图经过观察样品外表形貌取得消息。

图中参数包含:加大倍数、分辨率、图像亮度与对比度、尺度标等。

这些参数区分代表了图像的加大水平、细节明晰度、样品外表的明暗水平和对比成果以及实践尺寸与图像尺寸的比例相关。

一、SEM扫描电镜图的基本检查方法:

1. 观察样品外表形貌:SEM扫描电镜图关键经过显示样品外表的宏观结构来提供消息。

2. 识别图像特色:注用意像中的颗粒、纹理、裂痕等特色,这些特色能够反映样品的性质。

二、关于图中参数的解释:

1. 加大倍数:显示了图像相关于实践样品的加大比例,理论显示在图的左下角或右上角。

加大倍数选择了观测细节的精细水平。

2. 分辨率:代表图像中单位面积内能分辨的最小细节数量,反映了图像的明晰度。

3. 图像亮度与对比度:亮度影响图像的明暗水平,对比度则影响不同元素之间的差异清楚水平,这两者共同选择了图像的视觉成果。

4. 尺度标:图上理论会有一根表明实践尺寸与图像尺寸比例的标尺,用以计算样品实践尺寸。

三、参数的实践意义:

加大倍数选择了观测的粗疏水平,高倍数能看到更小的结构;分辨率越高,看到的细节就越明晰;亮度与对比度的调整有助于更好地观察样品特色;而尺度标则是衔接图像环球和实在环球的关键,它使咱们能够准确评价观察到的宏观结构的实践尺寸。

正确了解SEM扫描电镜图及其参数关于剖析资料结构和性能至关关键。

经过观察和剖析这些参数,钻研者可以取得无关资料宏观结构、成扩散布、外表外形等关键消息,从而启动更深化的迷信钻研。

扫描电镜SEM和透射电镜TEM的区别(配置)

扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)在配置上有清楚差异,关键体如今对样品的观察和剖析上。

扫描电镜(SEM)的外围配置在于提供高分辨率的形貌图像,经过二次电子探测器(SEI)观察外表几何外形,尺寸以及元素散布。

它能应用X射线能谱仪(EDS)或波谱启动化学成分剖析,生成元素面散布图,同时经过背散射电子(BSE)和阴极荧光,基于原子序数或特定元素的个性,出现化学成分的相散布。

在半导体器件钻研中,SEM的EBIC成像和样品电流成像关于pn结定位、电路缺点检测具备关键作用,而二次电子电位反差像则能提醒外表电位散布。

相反,透射电镜(TEM)早期关键用于观察样品形貌,但其开展迅速,如今能启动原位电子衍射剖析以钻研晶体结构。

TEM不只可以提供样品外部形貌和晶体结构的观察,还能经过附件启动成分剖析(如能谱仪EDS、EELS)和外表形貌(SED、BED)钻研。

经过减少高温、低平和拉伸台,TEM可观察样品在不同条件下的灵活变动。

这象征着同一微区位置,TEM能启动形貌、晶体结构和成分(价态)的片面剖析。

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