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米格试验室 (米格实验室干嘛用的)

SEO技术 2024-10-11 15
米格实验室干嘛用的

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米格试验室-SEMI F57认证

米格试验室取得了SEMI F57认证,这是专门针对半导体超纯水和液态化学品保送系统中经常使用的聚合物资料、组件以及环节设施的严厉规格规范。

这项认证涵盖了管道、硬件、阀门、过滤壳体、压力传感器、流量计、计量器和校准器等产品,旨在确保资料从源头到成品的全程品质管理。

SEMI F57测试名目重要包含四个方面:阴离子污染(触及8类离子,经过离子色谱法测定,限值见表1)、金属离子污染(涵盖22类离子,经过ICP-MS检测,限值见表2)、总无机碳(TOC,限值为 ug/m2)以及外表毛糙度。

不同工艺产品的外表毛糙度要求在表3中明白,测试方法驳回AFM或共聚焦显微镜。

在样品提取方面,遵照SEMI F40规范,液体提取可经常使用超纯水、超纯硝酸、超纯盐酸和IPA等特定溶剂,阴离子、金属离子和TOC的取样量要求4L/D(长度x直径)至少10L。

关于毛糙度测量,须要制造3x3mm的平板样品,经过相反的制样方法失掉数据。

终端客户或者对制造商提供的数据有所要求,包含上述各项测试的结果,以确保产品合乎严厉的SEMI F57规范。

什么是SEMI认证

SEMI认证是半导体设施与资料的国内性组织,旨在降落机械危害的危险,制订实用于半导体及显示器资料和制造设施的世界性规范和法规。

SEMI规范中有资料、设施、平板显示器、跟踪性等系列,环境、肥壮、安保由S系列规则。

SEMI S2认证是针对制程设施供货商所规范的基本肥壮和安保要求安保规范,合乎SEMI S2不只合乎了国内关系规则,也是半导体产业的公司所要求的必要条件之一。

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2020年3月,上海欣项完成取得国内半导体产业协会SEMI的授权,成为SEMI合格认可机构。

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