sem测试厚度，sem测试方法

sem基本参数

SEM的另一个关键特性是场深，即焦平面上下能清晰成像的样品层厚度，通常只有几纳米。这使得SEM特别适合于纳米级样品的三维成像。

SEM扫描电镜图通过观察样品表面形貌获得信息。图中参数包括：放大倍数、分辨率、图像亮度与对比度、尺度标等。这些参数分别代表了图像的放大程度、细节清晰度、样品表面的明暗程度和对比效果以及实际尺寸与图像尺寸的比例关系。

放大率：在SEM（扫描电子显微镜）中，放大率并非通过透镜来控制，而是通过调整扫描区域的大小来实现。想要获得更高的放大率，只需扫描一个更小的区域。放大率是由屏幕或照片显示的面积与实际扫描面积的比值确定。因此，SEM中的放大率与透镜无关。

放大率：在扫描电子显微镜（SEM）中，放大率是通过调整扫描区域的大小来控制的。想要更高的放大率，只需扫描更小的面积。放大率是屏幕/照片面积与扫描面积的比值，因此与透镜无关。

扫描电镜SEM/透射电镜TEM的样品制样要求-科学指南针

透射电镜（TEM）制样：TEM样品制备是实验核心，分为顶入式和侧插式样品台。支撑网材质如Cu、Ni、Be、尼龙等，需注意与样品成分区分。制备方法包括滴样和捞取，需注意关键点和注意事项。 扫描电镜（SEM）制样：SEM样品需为固体，无毒、放射性、污染、磁性、水分，组分稳定。

首先，样品需满足特定要求：1) 具有良好的透射性，对于高分辨电镜，样品厚度需小于10nm；2) 结构坚固，粉末样品需粘在支持膜如火棉胶膜或超薄炭膜的铜网上；3) 必须导电，非导电样品需表面喷上薄碳膜；4) 防止污染，制样过程需严格保护样品结构和性质。载网与支持膜的选择也很关键。

对于液体样品，至少需要0.5毫升，常规溶剂为水或乙醇。若使用四氯化碳、乙二醇、乙酸乙酯、甘油等不挥发溶剂或有毒溶剂，需提前通知检测单位，否则可能无法进行测试。对于薄膜或块体样品，需标明测试面，若需要测试截面，则自行准备或提前说明。科学指南针提供液氮淬断或剪刀裁剪两种截面制取方式。

（1）扫描电镜 SEM制样对样品的厚度没有特殊要求，可以采用切、磨、抛光或解理等方法将特定剖面呈现出来，从而转化为可以观察的表面。这样的表面如果直接观察，看到的只有表面加工损伤，一般要利用不同的化学溶液进行择优腐蚀，才能产生有利于观察的衬度。

科学指南针SEM测试能力覆盖磁性和非磁性样品的形貌分析，以及能谱测试，包括点扫、线扫和mapping测试。SEM可进行背散射电子检测，并提供喷金、喷碳和液氮脆断制样服务。

扫描电镜（SEM）样品制备相对简单，无需进行包埋和切片。样品需为固体，且无毒、无放射性、无污染、无磁性、无水分、组分稳定。块状导电材料直接粘结在样品座上，块状非导电或导电性能差的材料则需先进行镀膜处理以避免电荷累积，影响图像质量。

涂镀层厚度测试及相关标准

1、涂镀层厚度测试及相关标准如下：涂镀层厚度测试方法 金相测厚：适用范围：适用于厚度超过1μm的金属膜层测量。原理：使用金相显微镜观察并拍照测量膜层厚度。相关标准：GB/T 646ISO 146ASTM B487等。X射线荧光测厚：适用范围：电镀应用中较为稳定且费用较低，适合快速测试。

2、常见镀层厚度测试方法包括金相测厚、X射线荧光测厚(XRF)、扫描电子显微镜(SEM)测厚、X射线光电子能谱仪(XPS)深度剖析及台阶仪测厚。金相测厚使用金相显微镜，适用于厚度超过1μm的金属膜层测量，能同时检测多层。被测样品通过垂直取样并制备金相试样后，利用显微镜观察并拍照测量膜层厚度。

3、厚度检测，性能检测，结合力检测，成分检测，强度检测，孔隙率检测，附着力检测，内应力检测，电导率检测，六价铬检测，硬度检测等。

4、涂镀层检测旨在评估通过涂覆、电镀或化学镀工艺形成的镀层厚度及其均匀性。对于涂/镀层产品，来料厚度的检验尤为重要。截面法被认为是仲裁方法，适用于精确测量。X射线荧光膜厚法作为一种非破坏性检测方法，因其操作简便、适用范围广而被广泛使用。

5、要求一：外观 镀层表面要平滑，没有粗糙、起皮、滴瘤、残渣等现象，尤其在可能会影响热镀锌部件的使用和耐磨性的部位不能有锌瘤和锌灰。

6、根据GB/T 13912-2002标准，热镀锌管的镀锌层厚度要求如下：对于壁厚大于或等于6毫米的管道，镀层平均厚度应为85微米；对于壁厚在3毫米到6毫米之间的管道，镀层平均厚度应为70微米。

测量薄膜厚度的仪器有哪些?测量厚度仪器大全

1、光学显微镜是最常见的测量薄膜厚度的仪器之一。通过观察薄膜在显微镜下的干涉图案，可以间接测量薄膜的厚度。这种方法适用于透明薄膜的测量，如光学镀膜。扫描电子显微镜（SEM）扫描电子显微镜是一种高分辨率的显微镜，可以通过扫描电子束来观察样品表面的形貌和结构。

2、纸张厚度测量仪：专门用于测量4毫米以下纸张和纸板的厚度，包括各种薄膜等材料。 薄膜厚度测量仪：精确测量薄膜和薄片材料的厚度，具有广泛的测量范围、高精度以及多项实用功能，如数据输出、位置置零、单位转换和自动关机等。 涂层厚度测量仪：设计用于测定涂层覆盖在铁或非铁金属基材上的厚度。

3、光学3D表面轮廓仪、激光共聚焦显微镜和台阶仪是测量厚度的常用仪器。光学3D表面轮廓仪利用白光干涉技术原理，通过测量干涉条纹的变化来获取表面三维形貌，适用于精密零部件表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。

4、测量厚度可以用时下热门的纳米级测量仪器-光学3D表面轮廓仪、激光共聚焦显微镜和台阶仪。光学3D表面轮廓仪（光学，非接触式）光学3D表面轮廓仪以白光干涉技术原理，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌，专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。

5、目前常用的测厚仪有三种：激光测厚仪、射线测厚仪和超声波测厚仪。激光测厚仪由两个相对的激光测距传感器组成。工作时，上下两个传感器分别测量传感器与被测物体上下表面之间的距离，两个传感器之间的总距离减去两个传感器测量的距离即可得到被测物体的厚度。

扫描电镜怎么测膜厚度

1、试样制备：在扫描电镜中观察非导电试样时，试样的制备至关重要。如果制备不当，可能会出现假象，影响观察结果的准确性。 影响SEM图像质量的因素：图像质量受到多种因素的影响，包括加速电压、镀膜厚度、试样尺寸和固定方法等。选择适当的条件对于获得高质量的SEM图像至关重要。

2、如果是金属表面镀层，如镀锌层、镀铜层等，可以磨制垂直截面金相试样，然后直接在光镜或扫描电镜下测量；如果钢板上涂覆的油漆等非金属层，制样稍微麻烦点。我们目前采用的办法是，取样块在液氮下冷冻，然后冲击断开，这样可以保持非金属层不会发生变形，从而保持原始形貌和厚度。

3、放大率：与普通光学显微镜不同，在SEM中，是通过控制扫描区域的大小来控制放大率的。如果需要更高的放大率，只需要扫描更小的一块面积就可以了。放大率由屏幕/照片面积除以扫描面积得到。所以，SEM中，透镜与放大率无关。

4、厚度测量：用专门的仪器，比如椭偏仪或X射线荧光仪，来测量膜层的厚度。厚度是否均匀，是质量好坏的重要指标之一。表面分析：可以用扫描电镜（SEM）观察镀膜的表面结构。SEM能让你看到膜层的微观结构，检查是否有裂纹、孔洞等缺陷。膜层结构：X射线衍射（XRD）技术可以用来分析膜层的晶体结构。

如何测量膜层的厚度?

微米级、纳米级的薄膜，可以用薄膜厚度测量仪AF-3000系列测量；AF系列精度达0.1nm，可测10层膜的膜厚，还支持客制化，可离线/在线/Mapping等多场景应用。AF系列采用的是分光干涉原理，从测量原理来看，只能测透光或半透光的薄膜，理论上来说金属和类金属化合物这类不透光材质的薄膜，是无法检测的。

透明或半透明材料制成的薄膜可被光波穿透，实现测量。某些不透光材料，如金属，若膜厚度小于几百纳米，也可被部分光波穿透，从而精确测量。优势 高精度：分辨率1，相当于一根头发直径的六十万分之一，实现了超高分辨率测量。

在线膜厚监控法 无损检验法 破坏法 说点实际的吧：用的最多的还是台阶仪吧，我公司就是。比较简单，方便。