sem测试厚度,sem测试方法

sem测试厚度,sem测试方法

sem基本参数 SEM的另一个关键特性是场深,即焦平面上下能清晰成像的样品层厚度,通常只有几纳米。这使得SEM特别适合于纳米级样品的三维成像。SEM扫描电镜图通过观察样品表面形貌获得信息。图中参数包括...