semedx，semedx测试和SEM一样呢

电镜能谱(EDS),扫描电镜与透射电镜能谱对比-科学指南针

电镜能谱(EDS)与扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)的能谱分析有所差异。虽然早期EDS有多种缩写，如EDS、EDX和EDAX，但现今共识是EDS代表能谱或能谱仪，而EDX则用于指能谱学。

能谱仪(EDS，Energy Dispersive Spectrometer)是用来对材料微区成分元素种类与含量分析，配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。其原理是：当X射线光子进入检测器后，在Si（Li）晶体内激发出一定数目的电子空穴对。

结构差异：主要体现在样品在电子束光路中的位置不同。透电镜的样品在电子束中间，电子源在样品上方发电子，经过聚光镜，然后穿透样品后，有后续的电磁透镜继续放大电子光束，较后投影在荧光屏幕上；扫描电镜的样品在电子束末端，电子源在样品上方发的电子束，经过几级电磁透镜缩小，到达样品。

扫描电镜之EDX能谱分析的介绍

扫描电镜（SEM）的核心功能在于通过电子束获取样品的微纳尺度信息，主要依靠背散射电子（BSE）和二次电子（SE）生成高分辨率图像。然而，SEM中还隐藏着能谱分析（EDX）这一强大工具，它揭示了样品的更多细节。当电子与样品表面相互作用时，产生的信号涵盖了形貌、电子结构和化学成分等多元信息。

扫描电镜的EDS能谱图是一种用于元素成分和含量分析的强大工具，它通过X射线能谱分析技术，结合高灵敏度的硅漂移探测器，实现非破坏性地识别样品中元素的类型和浓度。EDS，全称为能量分散谱仪，是SEM的标准配置，其原理是利用X射线检测样品，产生包含元素特征峰的光谱。

莫斯莱(H.G.Moseley) 发现，荧光X射线的波长λ与元素的原子序数Z有关，其数学关系如下： λ=K(Z-s)-2 　这就是莫斯莱定律，式中K和S是常数，因此，只要测出荧光X射线的波长，就可以知道元素的种类，这就是荧光X射线定性分析的基础。

EDS能谱仪，是一种分析物质元素的仪器，常与扫描电镜或者透射电镜联用，在真空室下用电子束轰击样品表面，激发物质发射出特征x射线，根据特征x射线的波长，定性与半定量分析元素周期表中B-U的元素，EDS可提供样品表面之微区定性或半定量之成份元素分析，以及特定区域之point、line scan、mapping分析。

SEM干货知识|扫描电子显微镜SEM与EDX能谱分析

扫描电子显微镜(SEMs)在材料表征中扮演着关键角色，特别在研究微小尺寸材料时。它们利用电子成像，分辨率高于光学显微镜。扫描电子显微镜通过电子束扫描样品表面，产生图像。镜筒必须处于高真空环境，以保护电子枪和提高图像质量。SEM镜筒顶部的电子枪生成电子，当电子热能超过源材料功函数时释放出来，加速至阳极。

扫描电子显微镜中的背散射电子和二次电子成像提供了不同的信息。背散射电子来自样品较深区域，其图像显示出原子序数的敏感性；原子序数越高，图像区域越亮。二次电子来自表面区域，能反映更详细的表面信息。

SEM与EDS的结合应用广泛，如检测表面镀层的裂纹、分析不同材料断口的微观结构和成分。执行分析时，依据的标准包括JY/T 0584-2020《扫描电子显微镜分析方法通则》、GB/T 17359-2012《微束分析 能谱法定量分析》和GB/T 16594-2008《微米级长度的扫描电镜测量方法通则》等，确保了分析结果的准确性和规范性。

SEM扫描电镜能谱（EDS）分析是材料微区成分研究的重要工具。它操作简便、速度快，性价比高，已成为电镜中的常见配置。本文将集中解答几个关键问题，帮助理解EDS的使用。首先，关于EDS的缩写，尽管早期有EDS、EDX、EDAX等多种称呼，但2004年后，EDS被普遍接受为能谱或能谱仪，而EDX则用于能谱学。

SEM扫描电镜能谱(EDS)分析中必须要明白的几个重要问题

EDS分析的定量精度依赖于标准和误差规定，对于平坦、无水的试样，标准允许总量误差小于±3%。但对于不平坦试样，可能需要进行归一化处理或半定量分析。TEM的定量分析更为复杂，因为薄样品可能导致厚度难以准确测量，影响定量结果。最后，关于EDS谱峰，谱线多并不表示元素含量高，而是电子壳层结构的反映。

了解EDS原理后，可知谱线数量不代表元素含量。EDS基于电子壳层被激发后，外层电子跃迁至空位，释放特征X射线，不同壳层之间的能量差产生不同谱线。谱线数量多仅表明外层电子占有壳层多，定量分析时根据元素选择不同线系的谱峰强度与响应值计算，与元素含量无关。

EDS谱峰中可能看不到前面的谱峰，这可能是由于样品位置周围存在大颗粒或厚介质，导致轻元素X射线吸收严重，影响分析结果。此时，可以尝试更换样品位置或比较其他区域的分析结果，以判断原结果的可靠性。

在EDS mapping中，噪点可能源于低含量元素、穿透性影响和样品稳定性问题。轻元素的SEM-EDS测试不准确，因能量低易被基底吸收。形貌点扫描与XRF测试结果差异源于采样深度不同。超声分散时间取决于样品特性，需要经验或具体要求来确定。

EDS为能谱或能谱仪的正规用法，代表能量色散。EDX代表能谱学，尽管一些文章仍使用其他说法，但EDS应为文章中的正规用法。TEM与SEM的能谱误差：用于TEM的能谱分辨率通常低于SEM几个eV，因此TEM的能谱误差并不一定比SEM小。

共572页，主要适用于扫描电镜、WDS、EDS的分析方法等。部分为表面分析技术标准。5―能谱定量分析”标准的特点本标准适用于安装在扫描电镜（SEM）或电子探针（EPMA）上的能谱仪对试样上特定点或特定区域进行定量分析。

扫描电镜edx能谱图怎么看

1、扫描电镜的EDS能谱图是一种用于元素成分和含量分析的强大工具，它通过X射线能谱分析技术，结合高灵敏度的硅漂移探测器，实现非破坏性地识别样品中元素的类型和浓度。EDS，全称为能量分散谱仪，是SEM的标准配置，其原理是利用X射线检测样品，产生包含元素特征峰的光谱。

2、能谱仪中的探测器被置于一个特定角度，与样品非常接近，能测量到X射线的光子能量。探测器与样品之间的立体角越高，X射线检测概率越高，因此越能获得最佳结果。常用的探头为Si（Li）探测器，按照探头的位置以及数量配置，能谱仪一般可以分为多探头、平插式和斜插式类型。

3、扫描电镜（SEM）的核心功能在于通过电子束获取样品的微纳尺度信息，主要依靠背散射电子（BSE）和二次电子（SE）生成高分辨率图像。然而，SEM中还隐藏着能谱分析（EDX）这一强大工具，它揭示了样品的更多细节。当电子与样品表面相互作用时，产生的信号涵盖了形貌、电子结构和化学成分等多元信息。

4、同样，L层电子被逐出可以产生L系辐射。如果入射的X 射线使某元素的K层电子激发成光电子后L层电子跃迁到K层，此时就有能量ΔE释放出来，且ΔE=EK-EL，这个能量是以X射线形式释放，产生的就是Kα 射线，同样还可以产生Kβ射线 ，L系射线等。

5、自动拼图软件。用户个人使用扫描电镜进行拍摄的mapping，使用自动拼图软件进行查看即可。扫描电镜介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观性貌观察手段。